1、難在它的制造精度，為瞭便於形象地解釋，光刻機制造芯片的過程就相當於“沖洗照片”。設計好的集成電路的電路圖相當於照片的“拍攝的內容”，晶圓就相當於“相紙”，光刻機的其它機構就相當於與照相機的“鏡頭機構”。
2、不同的是洗照片是將照片放大呈現到相紙上，制造芯片是將設計的集成電路微縮到晶圓上拇指大小的區域內，而且電路的投影精度達到瞭納米量級。
3、光刻機的加工過程，光刻機技術發展已經發展到瞭紫外光階段，我們就以紫外光為例說明。光刻機加工芯片的過程簡單地講就是，光源提供的紫外光照射到刻著電路設計圖的掩模板上，紫外光透過掩模板後進入物鏡，物鏡將掩模板上的電路圖大比例的縮小後，將電路投影到矽片上，這樣矽片上就刻下設計好的電路圖，這個過程中曝光臺和測量臺處於聯動的狀態。
