1、強大的研發投入：光刻機是一個高精尖的技術，其技術難度是全球公認的，如果沒有持續強大的研發投入根本不可能到技術領先。ASML從成立至今，對於研發的投入都非常大，比如2019年ASML的銷售額大概是21億歐元，而研發費用支出就達到瞭4.8億歐元，研發費用占營收的比例達到22.8%，這個比例是非常高的，正因為有大量資金的投入，所以ASML在關鍵技術領域一直處於領先地位。
2、美國以及歐盟的支持：雖然ASML是一傢荷蘭公司，但他背後卻有著歐盟以及美國的力量，多關鍵技術都由美國以及歐盟國傢提供。比如德國先進的機械工藝以及世界級的蔡司鏡頭，再加上美國提供的光源，這就使得ASML公司在光科技術方面飛速發展，幾乎到達瞭無人能敵的境地。
3、準確抓住瞭技術轉折點：目前世界最頂尖的光刻機有三個廠傢，分別是ASML，尼康和佳能。2007年之前這三大廠傢其實並沒有太大的差距，競爭的轉折點是出現在2007年。2007年ASML配合臺積電的技術方向，推出瞭193納米的光源浸沒式系統，在光學鏡頭和矽晶圓片導入液體作為介質，在原有光源與鏡頭的條件下，能顯著提升蝕刻精度，並成為高端科技的主流技術方案。而當時日本的尼康與佳能卻主推157納米光源的幹式光刻，這個路線後來被市場所放棄，也成為尼康跟佳能邁入衰退的一個轉折點，後來才有瞭ASML的壟斷。
